工业机械人

半导体 | 史陶比尔净室机械人用于高价值硅片搬运

2025China.cn   >2019年05月17日

  半导体行业对主动化设备精度、速率和削减颗粒排放量等方面的请求尤为苛刻。分外对付价值极高的半导体硅晶圆搬运,德国 S?SS MicroTec 公司青眼史陶比尔TX60L cr 净室机械人,用于在超洁净室环境内的,极高稳固性请求的搬运硅片主动化涂胶工序中。

  挑衅

  晶圆主动化搬运

  机械人将工件从A处搬运至B处通常是一道简略工序。但若触及硅晶圆搬运,则与常规请求完全分歧,因为一片硅晶圆的价值高达几千欧元。为确保这些高价值产品相对平安的搬运,德国S?SS MicroTe 集团选用了高精度的史陶比尔TX60L CR 净室机械人。

  其集团旗下公司S?SS MicroTec Lithography GmbH,极力于晶圆后道加工中的光刻工艺,并供给全系列光阻涂布机产品。该公司精晓晶圆搬运工艺,搬运效果疾速、精准、靠得住,破损率与其每分钟搬运速率相比几乎可忽略不计,为其博得了全球客户。

  解决计划

  基于机械人搬运的创新涂胶和显影体系

  即使是模范设置设备摆设,S?SS MicroTec的体系设计也旨在具有高柔性,正如其 ACS300 Gen2 型号涂胶和显影一体机。这套体系无需机械改革即可用于200-300mm晶圆加工,重要包含先辈涂胶工艺、晶圆级封装和三维集成技术。该体系内统统搬运工作均由高精度史陶比尔TX60L cr机械人实现。在后道加工环境中洁净品级到达 ISO 3 级至 ISO 4 级,净室版本的TX60L可轻松称心。

  S?SS MicroTec体系在靠得住性、重复定位精度、正常运行光阴和平安搬运方面都有非常高的请求。因为在这一阶段前,已实现近90%的临盆步骤,一片极其昂贵的晶圆破碎就能导致严重的后果。

  与半导体的较为普遍的平面三连杆机械臂(只要3个从容度)相比,史陶比尔六轴机械人更具柔性。分外是臂展较长的 TX60L 具有更广工作行程,更大的运行空间支撑体的诓扛机动的模块支配。别的,TX60L 还具有更高的取放精度和精彩的重复定位精度,这在晶圆边缘光刻胶去除方面是一项决定性模范。

  客户应用

  最高精度包管最大化靠得住性

  将晶圆放置到加工模块时的举动必需非常精准。凭仗高精度史陶比尔TX60L,在模块内到达±50微米相对放置精度的既定偏向能轻松实现,这很大程度上归因于史陶比尔机械人自有专利JCS驱动技术。

  在拾取和嵌入晶圆时,机械人的精准运动轨迹也是一大优势。TX60L能以精彩的靠得住性搬运昂贵晶圆而无任何轻微颤动,也未曾发生晶圆破碎成就。体系的周期光阴视实际任务而定,模块加工光阴对某些工艺来说是限制因素,但对付其余任务来说,机械人自己的取放周期光阴才是决定性因素。在两种环境下,体系都受害于机械人的超疾速率的周期光阴。即使是在较大加快度下,史陶比尔机械人仍能坚持精准运行,从而平安防止晶圆损坏。

  实际上,S?SS创新地将史陶比尔六轴机械人集成到ACS 300 Gen2系列设备绝非偶然,而是颠末对市面上现无机械人产品的严厉挑选。在追求工作规模、速率、精度和靠得住性的最优组合时,只要机能精彩的史陶比尔机械人才网网适用。

  客户收益

  ● 有用预防晶圆破损

  ● 精度高达微米级的机械人搬运

  ● 柔性体系设计

  ● 缩短周期光阴

  ● 高临盆率

标签:史陶比尔 TX60L cr 净室机械人 我要反馈 
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